Püskürtme hedefleri şekillerine göre düzlemsel hedefler ve dönen hedefler olarak ikiye ayrılabilir. Düzlemsel hedefler, boş bir hedef ve bir destek plakasının bağlanmasıyla yapılan uzun hedefler, kare hedefler veya belirli kalınlıkta yuvarlak hedeflerdir. Püskürtme sırasında hedef boş ve altlık birbirine paraleldir ve hedef boş ile altlık arasında bir elektromanyetik alan oluşur. Dönen hedefler boru şeklindeki hedeflerdir ve püskürtme sırasında alt tabakaya doğru bir elektromanyetik alan oluşturulur. Düzlemsel hedefler daha çok yönlüdür ancak kullanım oranı daha düşüktür; Dönen hedeflerin kullanım oranı daha yüksektir ancak kaplama homojenliği zayıftır.
Dönen Hedeflerin Avantajları
1. Dönen hedefler daha yüksek malzeme kullanımına sahiptir
Dönen hedefler, dönüş sırasında hedef yüzeyi eşit şekilde tüketebilir, böylece hedefin genellikle %70-90'a ulaşabilen malzeme kullanımı iyileştirilir. Bununla birlikte, düzlemsel hedefin yalnızca bir sabit tarafı püskürtme işlemine dahil olduğundan, kullanım sırasında "oluklar" veya "çukurlar" oluşacaktır, bu da eşit olmayan malzeme tüketimine yol açacaktır ve malzeme kullanım oranı genellikle %30-%40'tır. Pahalı hedefler için (değerli metaller veya nadir toprak malzemeleri gibi), dönen hedefler maliyetleri önemli ölçüde azaltabilir ve ekonomik faydaları artırabilir.
2. Dönen hedefler daha iyi püskürtme tekdüzeliğine sahiptir
Dönen hedefler çalışma sırasında sürekli olarak döner, böylece hedef yüzeyindeki her konum plazmaya eşit şekilde maruz kalır ve daha düzgün bir püskürtme hızı oluşturulur. Bunun, film bütünlüğüne yönelik yüksek gereksinimlere sahip uygulamalar (ekranlar ve yarı iletken işlemler gibi) için belirgin avantajları vardır. Düzlemsel hedefler, özellikle geniş alanlı alt katmanlarda veya sürekli üretimde, yerel aşırı-püskürtme nedeniyle eşit olmayan film kalınlığına eğilimlidir-.
3. Dönen hedeflerin kullanım ömrü daha uzundur
Dönen hedefler daha tekdüze malzeme tükettiğinden hizmet ömürleri genellikle düzlemsel hedeflere göre daha uzundur. Bu, aynı çalışma koşulları altında dönen hedefin değiştirme sıklığının daha düşük olduğu anlamına gelir, bu da ekipmanın aksama süresini azaltır ve üretim verimliliğini artırır. Geniş-alan kaplama ve rulodan-ruloya-kaplama gibi bazı sürekli üretim süreçleri için, dönen hedef, üretim döngüsünü önemli ölçüde uzatabilir ve bakım maliyetlerini azaltabilir.
4. Dönen hedefler daha yüksek film kalitesine sahiptir
Dönen hedef tarafından püskürtülen film katmanı daha yoğun ve daha tekdüzedir; bu, film kalitesi açısından son derece yüksek gereksinimlere sahip bazı uygulamalar (örneğin, üst düzey elektronik cihazlar ve yarı iletken cihaz imalatı gibi) için uygundur. Bunun nedeni, dönen hedefin, hedef yüzeyinde eşit olmayan püskürtmenin neden olduğu kusurları etkili bir şekilde azaltabilmesi ve film tabakasının kalitesini ve tutarlılığını iyileştirebilmesidir.
Çözüm
Düzlemsel hedeflerle karşılaştırıldığında, döner hedefler daha yüksek malzeme kullanımına, daha uzun hizmet ömrüne, daha düzgün püskürtme etkisine ve geniş-alan ve yüksek-hacimli üretime uyarlanabilirliğe sahiptir. Bu, döner hedefleri, modern ince film biriktirme alanında, özellikle de geniş-alan kaplama, sürekli üretim ve üst düzey elektronik cihaz imalatında-önemli bir seçim haline getirir.